Super rentgenový měřič plošné hustoty
Principy měření
Když paprsek dopadne na elektrodu, je elektrodou absorbován, odražen a rozptýlen, což má za následek určitý útlum intenzity paprsku za procházející elektrodou vzhledem k intenzitě dopadajícího paprsku a jeho útlumový poměr je negativně exponenciální s hmotností nebo plošnou hustotou elektrody.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0: Počáteční intenzita paprsku
I: Intenzita paprsku po propuštění elektrody
λ: Absorpční koeficient měřeného objektu
m: Tloušťka/plošná hustota měřeného objektu

Hlavní vlastnosti vybavení

Porovnání měření polovodičových senzorů a laserových senzorů
● Měření detailních obrysů a prvků: milimetrové prostorové rozlišení a měření plošné hustoty obrysů s vysokou rychlostí a vysokou přesností (60 m/min)
● Měření ultra šířky: přizpůsobitelné šířce povlaku více než 1600 mm.
● Ultrarychlé skenování: nastavitelná rychlost skenování 0–60 m/min.
● Inovativní polovodičový detektor paprsků pro měření elektrod: 10krát rychlejší odezva než tradiční řešení.
● Pohon lineárním motorem s vysokou rychlostí a vysokou přesností: rychlost skenování je 3–4krát vyšší než u tradičních řešení.
● Vlastně vyvinuté vysokorychlostní měřicí obvody: vzorkovací frekvence až 200 kHz, což zlepšuje účinnost a přesnost uzavřené smyčky povlakování.
● Výpočet ztráty ztenčovací kapacity: šířka bodu může být až 1 mm. Dokáže přesně měřit detailní prvky, jako jsou obrysy oblasti ztenčování hran a škrábance v povlaku elektrody.
Softwarové rozhraní
Přizpůsobitelné zobrazení hlavního rozhraní měřicího systému
● Stanovení plochy prořezávání
● Stanovení kapacity
● Určení škrábanců

Technické parametry
Položka | Parametr |
Radiační ochrana | Dávka záření ze vzdálenosti 100 mm od povrchu zařízení je menší než 1 μSv/h |
Rychlost skenování | Nastavitelná rychlost 0–60 m/min |
Vzorkovací frekvence | 200 kHz |
Doba odezvy | <0,1 ms |
Měřicí rozsah | 10–1000 g/㎡ |
Šířka bodu | 1 mm, 3 mm, 6 mm volitelné |
Přesnost měření | P/T ≤ 10 %Integrál za 16 sekund: ±2σ: ≤±skutečná hodnota × 0,2‰ nebo ±0,06g/㎡; ±3σ: ≤±skutečná hodnota × 0,25‰ nebo ±0,08g/㎡;Integrál za 4 sekundy: ±2σ: ≤±skutečná hodnota × 0,4‰ nebo ±0,12g/㎡; ±3σ: ≤±skutečná hodnota × 0,6‰ nebo ±0,18g/㎡; |