Integrovaný tloušťkoměr a plošný hustoměr CDM

Aplikace

Proces povlakování: online detekce drobných rysů elektrody; běžné drobné rysy elektrody: prázdninové hladovění (žádný únik proudového sběrače, malý rozdíl šedé s normální plochou povlaku, selhání identifikace CCD), škrábance, kontura tloušťky ztenčené oblasti, detekce tloušťky AT9 atd.

Pošlete nám e-mail

Detaily produktu

Štítky produktů

Principy měření

Principy měření povrchové hustoty

Metoda rentgenové/β-absorpce

Principy měření tloušťky

Korelace a laserová triangulace

Technické testovací charakteristiky CDM

Scénář 1: Na povrchu elektrody je 2 mm široký prázdný prostor/nedostatek a jeden okraj je silnější (modrá čára, jak je znázorněno níže). Pokud je paprsková skvrna 40 mm, dopad tvaru naměřených původních dat (oranžová čára, jak je znázorněno níže) se jeví zřetelně menší.

Scénář 2: profilová data oblasti dynamického ztenčování, šířka dat 0,1 mm

Softwarové funkce

Technické parametry

Jméno	Indexy
Rychlost skenování	0–18 m/min
Vzorkovací frekvence	Povrchová hustota: 200 kHz; tloušťka: 50 kHz
Rozsah měření povrchové hustoty	Povrchová hustota: 10~1000 g/m²; tloušťka: 0~3000 μm;
Opakování měření přesnost	Povrchová hustota: 16s integrál: ±2σ: ≤±skutečná hodnota * 0,2 ‰ nebo ±0,06 g/m²; ±3σ: ≤±skutečná hodnota * 0,25 ‰ nebo +0,08 g/m²; 4s integrál: ±2σ: ≤±skutečná hodnota * 0,4‰ nebo ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±skutečná hodnota * 0,6 ‰ nebo ±0,18 g/m²;Tloušťka: Zóna 10 mm: ±3σ: ≤±0,3μm; zóna 1 mm: ±3σ: ≤±0,5μm; zóna 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Korelace R2	Povrchová hustota >99 %; tloušťka >98 %;
Laserový bod	25*1400μm
Třída radiační ochrany	Národní bezpečnostní norma GB 18871-2002 (výjimka z radiačního záření)
Životnost radioaktivních látek zdroj	β-záření: 10,7 let (poločas rozpadu Kr85); rentgenové záření: > 5 let
Doba odezvy měření	Povrchová hustota < 1 ms; tloušťka < 0,1 ms;
Celkový výkon	<3 kW